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序号

实验名称

学时数

实验性质

1

外延技术

3

基础性

2

氧化技术

3

基础性

3

扩散技术

6

基础性

4

图形转移

3

基础性

5

镀膜技术

3

基础性

6

PECVD技术

3

基础性

7

LPCVD技术

3

基础性

8

干法刻蚀

3

基础性

9

湿法刻蚀

3

基础性

10

NPN晶体管制造

15

综合性、设计性

11

GaN外延生长与分析

6

综合性

12

GaN光致荧光谱分析

3

综合性

13

半导体材料X射线衍射分析

3

综合性

 

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