首页 --> 教学资源 --> 实验室概况   
专业基础实验室
实验室概况
课程设置
教学大纲
EDA中心
实验室概况
集成电路设计与集成系统专业课程设计
微电子专业课程设计
课程设置
超净工艺实验室
实验室概况
集成电路制造生产实习
半导体器件制造生产实习
课程设置
创新实践实验室
实验室概况
课程设置
 

超净工艺实验室

超净工艺实验室在西北地区高校中为独家,其建设规模和设备水平在国内高校中居领先水平。实验室建筑面积1800平方米,设备总价值超过6000万元。建设超净工艺线用于本科生生产实习在国内是独树一帜。摆脱了微电子专业及相关专业生产实习环节普遍面临的生产厂家“进不去门、动不了手”或“隔窗相望”的尴尬局面。

超净工艺实验室具有半导体器件与集成电路关键制造工艺设备,涵盖清洗、氧化、掺杂、蒸发、溅射、光刻、CVD、刻蚀等主要工序,为学生亲自动手制作半导体器件和集成电路制造提供了一个良好的封闭、完整的设计实验条件。

超净工艺实验室主要面向西安电子科技大学微电子学院和技术物理学院的微电子学、电子科学与技术、集成电路设计与系统集成专业开放,也可供材料类、物理类、精密仪器类等相关专业的学生进行生产实习和毕业设计,同时对陕西省高校微电子相关专业提供实验教学服务。

生产实习是微电子学、集成电路设计和集成系统专业本科培养方案中重要的实践教学环节。生产实习的主要任务是在微电子超净工艺线上实现《课程设计》所完成的器件或集成电路设计方案。在半导体器件和集成电路课程设计的基础上,通过在超净工艺线上进行器件和电路芯片的工艺设计和流片实践,学生自己动手制造出具备一定功能的微电子器件,并对其进行测试验证。通过实践使学生掌握综合运用理论知识的基本方法和特点,进行知识转化为能力的训练,弥补理论学习的不足,强化实际能力的培养。

CpoyRight © 2008-2009 Smesy.xidian.edu.cn All Rights Reserved. 西安电子科技大学微电子学院实验教学中心 版权所有 技术支持:新势力网络
电话:029-88203307 88202505 邮箱:sme@mail.xidian.edu.cn 您是本站第 510 位访问者