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一、课程的教学目标与任务
目标:通过本实践教学环节,使学生具有较强的半导体器件、集成电路生产实践和设计开发能力,进一步掌握和加深微电子技术领域相关理论知识和实践经验,培养学生灵活运用理论知识解决实际问题的能力,培养学生认真刻苦、缜密思维和自主创新的科学精神。
任务:掌握集成电路工艺制造的基本原理、工艺流程并了解当前微电子技术发展的动态,该课程要求学生能够灵活应用术相关理论知识,通过成熟的硅平面工艺进行半导体器件、集成电路的工艺设计和独立流片实践。
 
二、本课程与其它课程的联系和分工
本实验课程是与《半导体物理》、《双极型器件物理》、《场效应器件物理》、《半导体器件课程设计》、《集成电路课程设计》、《集成电路制造技术》等理论课程相配套的重要实践教学环节,在前期理论课程教学后集中开设。旨在培养学生理论联系实际的能力,强化学生在半导体器件和集成电路的设计研发、制造等方面的综合素质。
 
三、课程内容及基本要求
本课程是在熟练掌握集成电路单项工艺技术的基础上,利用微电子超净工艺线独立研制性能指标满足设计要求的半导体器件或集成电路的实践教学环节。
 
 
 
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